日本日立冷场发射扫描电镜SEM的核心参数： 产品类型：落地式/传统大型 电子枪种类：冷场发射 二次电子图象分辨率：0.6 nm@15kV；0.7nm@1kV 放大倍数：20-2,000,000x 加速电压：0.5-30kV（标准模式） 背散射电子图像分辨率：nm